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渦旋式真空泵的結構特點及應用

渦旋式真空泵的結構特點及應用
時間：2022.04.12 分類：默認分類 瀏覽次數： 74
  • 結構特點
    　　渦旋式真空泵的結構簡單，主要由5個部件組成：①動靜渦旋盤副與基座；②曲軸；③密封件；④防自轉機構；⑤電機渦旋真空泵結構
    　　渦旋式真空泵的主要運動件只有動渦旋盤，動力傳遞簡單，相同尺寸下運動半徑小，所以其具備了結構簡單緊湊、運行平穩，幾乎無磨損，消耗功率小等特點，這是其他類型的干式真空泵所不具備的。
  • 應用范圍
    　　渦旋式真空泵抽速較小，同時也不適宜用于有毒、易燃易爆氣體、腐蝕性氣體及藥品、溶劑、粉狀體等介質工況環境。因此目前渦旋式真空泵較多應用于分析儀器、半導體芯片生產線、液晶顯示器生產線和科研設備上。因其可以直接在大氣壓下啟動，很多時候作為分子泵與小型低溫泵的前級泵出現。

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